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  • 产品名称：超高分辨场发射扫描电子显微镜

  • 产品型号：Regulus8100
  • 产品厂商：日立
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简单介绍：
全新发布的日立新型场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）全新品牌 "Regulus®系列"，机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级版"Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。"Regulus系列" 电子光学系统进行了*优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，*适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。*大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助
详情介绍：

    主要特点

    1. 搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪

    2. 跟前代机型相比分辨率大约提高了20%
      （Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

    3. *大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1

    4. 用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来


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